Langkah Dalam SEM (skripsi dan tesis)

Menurut Ghozali (2005), proses Structural Equation Modelling mencakup beberapa langkah yang harus dilakukan, yaitu:
 a. Konseptual Model Tahap ini berhubungan dengan pengembangan hipotesis (berdasarkan teori-teori) sebagai dasar dalam menghubungkan variabel laten dengan variabel laten lainnya, dan juga dengan indikator-indikatornya.
b. Penyusunan Diagram Alur Tahap ini memudahkan dalam proses menvisualisasikan hipotesis yang telah kita ajukan dalam konseptualisasi model di atas.
 c. Spesifikasi Model Spesifikasi model yaitu untuk menggambarkan sifat dan jumlah parameter yang diestimasi. Spesifikasi model berkaitan dengan pembentukan awal persamaan struktur sebelum dilakukan estimasi. Model awal ini dilakukan berdasarkan suatu teori atau penelitian sebelumnya.
d. Identifikasi Model Informasi yang diperoleh dari data diuji untuk menentukan apakah cukup untuk mengestimasi parameter dalam model. Nilai yang unik harus diperoleh untuk seluruh parameter dari data yang telah diperoleh sebelumnya.
e. Estimasi Parameter Berkaitan dengan estimasi terhadap model untuk menghasilkan nilai-nilai parameter dengan menggunakan salah satu model estimasi yang tersedia. Pemilihan metode estimasi yang digunakan seringkali ditentukan berdasarkan karakteristik dari variabel-variabel yang dianalisis. f. Penilaian Model Fit Berkaitan dengan uji kecocokan antara model dengan data. Beberapa kriteria ukuran kecocokan atau Goodness Of Fit (GOF) dapat digunakan untuk melaksanakan langkah ini.
 g. Modifikasi Model Setelah melakukan penilaian model fit, maka model penelitian diuji untuk menentukan apakah modifikasi model diperlukan karena tidak fitnya hasil yang diperoleh tahap pada tahap  sebelumnya. Semua modifikasi harus berdasarkan teori yang mendukung
. h. Validasi Silang Model Tahap ini menguji fit tidaknya model terhadap suatu data baru. Validasi silang ini penting apabila terdapat modifikasi yang substansial yang dilakukan terhadap model asli yang dilakukan pada langkah sebelumnya.